진공 기술의 이론과 실제! 진공(Vacuum)이란 단어의 뜻은 아무것도 없는 빈 공간(void or empty)을 말하지만 실용적으로는 대기압보다 낮은 압력으로 기체가 채워져 있는 공간을 말한다. 진공 기술은 반도체/Display 산업뿐만 아니라 의료 및 항공, 그리고 우리의 가정 등 다양한 분야에서 활용되며 성장 중이다. 특히 최근 진공기술은 여러 산업분야의 핵심기술로 인식되고, 그 응용분야는 더욱 다양화하고 수요도 계속 증가하는 추세이다. 하지만 관련한 책은 이론적으로만 접근하여 실무에서 활용성이 떨어지는 것이 현실이다. 또한 진공 기술 분야는 산업적으로 중요한 데 비해 이 분야에 종사하는 엔지니어들은 이론적인 바탕보다는 경험과 추론으로 문제를 해결하는 경우가 많았고, 진공 기술에 대한 이해도가 낮은 편이다. 이에 본 서는 저자가 실무에서 그동안 쌓은 경험과 데이터를 이론적으로 분석하고, 해석함으로써 좀 더 실질적으로 진공 기술에 대해 이해할 수 있도록 다음과 같이 정리하였다. ㆍ 진공에 대한 정의와 진공 기술을 이해하는 데 필요한 이론적 기술을 제시 ㆍ 진공 장비 및 공정에서 접하는 각종 진공 데이터에 대한 진공 해석 설명 ㆍ 진공을 만들기 위한 진공 펌프와 진공을 측정하는 진공 게이지 및 진공 장비 소개

저자 : 이제형 ｜학력 ㆍ서울 대광고등학교 졸업(1985년) ㆍ한양대학교 자연과학대학 물리학과 학사/석사 졸업(1991년) ㆍ현재 LG전자 생산기술원 책임연구원(1994년~) ｜경력 ㆍLG전자/일본 Alps전기 합작법인 Frontec 차세대 LCD 장비 개발 파견연구원(1996년) ㆍ세계 최대 사이즈 PDP MgO 증착기 개발(2002년) ㆍ국내 최초 2세대 OLED 증착/Encapsulation 라인 개발(2005년) ㆍ세계 최초 8세대 OLED TV 증착/Encapsulation 라인 개발 LG전자 총괄리더(2012~2015년) ㆍLG전자/LG Display OLED TV 개발 교환연구원(2012~2015년)

CHAPTER 1 진공이란 :: 진공의 정의 :: 압력의 정의 :: 압력의 단위 :: 진공의 분류 :: 진공 기술 개발사 :: 진공의 응용 CHAPTER 2 진공 기술 이론 :: 진공 기술 이론 :: 기체의 운동 법칙 :: 평균자유행로 :: 충돌률(충돌 유량) :: 기체의 수송 현상 :: 증기압 :: 유량, 기체 방출률 :: 기체 흐름 :: 기체와 고체 표면의 반응 :: 대기와 진공 상태, 물(수분)의 영향 및 제거 방법 CHAPTER 3 진공 해석 :: 진공 해석 :: 배기 시간의 계산 :: 압력 강하 과정 :: 압력 강하 해석 :: 기체 방출의 계산 :: 배기 속도 계산 :: 압력 계산 :: 진공 해제 :: 압력 상승량 계산 :: 압력 증가의 원인 :: 누출의 정의 :: 기체 방출의 측정 :: 대기 환경과 N2 환경, 진공 환경의 비교 :: 전도의 의미 :: 전도의 연결 :: 전도의 계산(분자류) :: 유효 배기 속도의 계산 :: 전도의 계산(점성류) :: 전도의 계산(점성류에서 분자류까지) CHAPTER 4 진공 만들기 :: 진공에서 필요한 기본 요소들 :: 진공 만들기 :: 진공 펌프의 종류 :: 건식 펌프 :: 크라이오 펌프 :: 터보 분자 펌프 :: 진공 측정 :: 전기용량 게이지 :: 열전대 게이지 :: 이온 게이지 :: 잔류 가스 분석기 CHAPTER 5 진공 장비 :: 진공 장비의 종류 :: 증착 장비 :: 스퍼터링 장비 :: 화학 증착 장비 :: 진공 장비의 구분

진공 기술은 우리나라 반도체, 디스플레이(Display) 산업의 근간이 되는 기반 기술이지만, 실무까지 아우를 수 있는 도서는 많지 않은 것이 현실이다. 이에 본서는 실무 경험이 많은 저자가 그동안 쌓은 경험과 데이터를 이론적으로 분석하고, 해석함으로써 실질적으로 활용할 수 있는 진공 기술서로서, 독자들에게 진공에 대한 갈증을 풀어줄 것이다.